电炉介绍

功能特点：
本套系统由滑动式开启式真空管式炉，混气系统，真空及压力系统等组成。此系统烧结温度可达1200℃，通过滑动炉体来实现快速的升降温；配置不同的真空系统来达到不错的真空度；同时通过三路高精度质量流量计控制不同气体。
电炉用途：
高校、科研院所用于真空镀膜、纳米薄膜材料制备
电炉参数

• 炉体结构：双层炉壳间配有风冷系统，有效保证外壳表面温；真空吸附成型的质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛，保温性能好
• 电源电压：AC220V 50/60Hz；
• 功率：4KW
• 炉管材质：高纯石英管，高温下化学稳定性强，耐腐蚀，热膨胀系数极小
• 炉管尺寸：Phi;40/60/80/100*1200mm
• 加热系统：加热元件采用质合金丝0Cr27Al7Mo2，表面负荷高、经久耐用
• 加热区长度：440mm
• 恒温区长度：200mm
• 工作温度：le;1150℃
• 额定温度：1200℃
• 升温速率：10℃/min
• 温控系统：温度控制采用人工智能调节技术，具有PID调节、自整定功能30段升降温程序
• 测温元件：N型热电偶
• 恒温精度：±1℃
• 混气系统：三路质量流量计：数字显示、气体流量自动控制
• 内置不锈钢混气箱，每路气体管路均配有逆止阀
• 管路采用不锈钢管，接口为Phi;6卡套
• 每路气体进气管路配有不锈钢针阀
• 通过控制面板上的旋钮来调节气体流量
• 流量规格：0~1SLM
• 流量精度：±5、%
• 极限真空：6、0×10-5Pa
• 工作真空：7、6×10-4Pa
• 标准配件：数显式真空压力表；可选高真空系统及真空计，压力控制系统等
• 可选配件：混气系统,中、高真空系统，各种刚玉、石英坩埚，石英管，计算机控制软件，无纸记录仪，氧含量分析仪。

1200℃滑式真空炉CVD系统 哪个厂家的质量好?生产厂家西格马质量好，售后完善。

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