1500℃单温区3路质量流量计高真空CVD系统
- 电炉类型：高温电炉
- 电炉名称：1500℃单温区3路质量流量计高真空CVD系统
- 电炉类型：热震炉
- 电炉系列：西格马SGM
- 电炉规格：
- 电炉温度：
- 咨询热线：400-600-3293
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产品详情
1500℃单温区3路质量流量计高真空CVD系统炉管采用高纯氧化铝制成，炉体采用一体式设计，特的设计能够保证系统在1500℃运行稳定安全，加热元件采用高品质硅碳棒，能够达到1500℃高温，若客户有需求可以定制硅钼棒加热元件以达到更高的1700℃高温。
系统所配有的三路质量流量计，精度高可靠性强，可以准确混合1~3路气体，操作面板采用数字显示，直观高效。若客户有特殊需要也可联系技术人员定制任意数量的气路。本系统还配有精密分子泵组，可以达到1、0E-3pa级别的真空度，较普通机械泵可以为用户提供更纯净严苛的实验环境。
适用于高校、科研院所、工矿企业做高温烧结、金属退火、质量检测等，尤其适合需要多种气体混合的气氛环境的CVD实验。
技术参数：
真
空
管
式
炉
电炉型号
SGM-T1500-60IT
炉管材质
高纯氧化铝
炉管直径
60mm(可选配50mm、80mm、100mm)
炉管长度
1000mm
炉膛长度
400mm
加热区长
300mm
恒温区长
150mm
工作温度
≤1450℃
控温精度
±1℃
控温模式
30段或50段程序控温
显示模式
LCD
密封方式
304不锈钢真空法兰
法兰接口
1/4英寸卡套接头、KF16/25/40接头
可抽真空
4、4E-3Pa
供电电源
AC:220V 50/60Hz
供
气
系
统
电炉型号
SGM-3Z
气体通道
3通道
测量部件
气体质量流量计
测量量程
A通道：0～100SCCM H2气
备注：如需其它量程或气体种类，定货时需要特别注明。可根据客户的具体要求来选配对应的气体种类和量程的流量计。
B通道：0～300SCCM N2气
C通道：0～500SCCM Ar气
测量精度
±1、0%F.S
管道耐压
3MPa
工作压差
50～300KPa
连接管道
304不锈钢
控制阀门
304不锈钢针阀
接口规格
进气口和出气口为1/4英寸卡套接头
供电电源
AC:220V 50/60Hz
排
气
系
统
电炉型号
SGM-GZK103-A
分子泵
SGM-600
前极泵
旋片泵
抽气速率
分子泵：600L/S
综合抽气性能：20分钟真空度可达：1.0E-3Pa
旋片泵：1、L/S
抽气接口
KF40
排气接口
KF16
真空测量
复合真空计：电阻规+电离规
极限真空
1.0E-5Pa
供电电源
AC:220V 50/60Hz
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