1500℃单温区3路浮子供气低真空CVD系统
- 电炉类型：高温电炉
- 电炉名称：1500℃单温区3路浮子供气低真空CVD系统
- 电炉类型：热震炉
- 电炉系列：西格马SGM
- 电炉规格：
- 电炉温度：
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产品详情
1500℃单温区3路浮子供气低真空CVD系统管式炉采用高清真彩触控屏操作，简单易上手，即使是非专业人员经过简单的培训也可以熟练掌握仪器的使用方法，能够极大的提高您的实验效率。
炉管采用高纯氧化铝制成，炉体采用一体式设计，特的设计能够保证系统在1500℃运行稳定安全，加热元件采用高品质硅碳棒，能够达到1500℃高温，若客户有需求可以定制硅钼棒加热元件以达到更高的1700℃高温。
系统所配有的三路浮子流量计，可以混合1~3路气体，较为准确的配制出实验所需的混合气体；另有一压力表安装在浮子流量计正面，可以监测气体压力及混合槽压力。
技术参数：
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真 空 管 式 炉 |
电炉型号 |
SGM-T1500-60IT |
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炉管材质 |
高纯氧化铝 |
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炉管直径 |
60mm(可选配50mm、80mm、100mm) |
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炉管长度 |
1000mm |
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炉膛长度 |
400mm |
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加热区长 |
300mm |
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恒温区长 |
150mm |
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工作温度 |
≤1450℃ |
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控温精度 |
±1℃ |
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控温模式 |
30段或50段程序控温 |
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显示模式 |
LCD |
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密封方式 |
304不锈钢真空法兰 |
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法兰接口 |
1/4英寸卡套接头、KF16/25/40接头 |
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可抽真空 |
4、4E-3Pa |
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供电电源 |
AC:220V 50/60Hz |
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供 气 系 统 |
电炉型号 |
SGM-3F |
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气体通道 |
3通道 |
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测量部件 |
气体浮子流量计 |
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测量量程 |
A通道：0～100ml/min H2气 |
备注：如需其它量程或气体种类，定货时需要特别注明。可根据客户的具体要求来选配对应的气体种类和量程的流量计。
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B通道：16～160ml/min N2气 |
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C通道：25～250ml/min Ar气 |
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测量精度 |
±2、0% |
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管道耐压 |
3MPa |
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工作压差 |
50～300KPa |
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连接管道 |
304不锈钢 |
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控制阀门 |
304不锈钢针阀 |
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接口规格 |
进气口和出气口为1/4英寸卡套接头 |
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排 气 系 统 |
机械泵 |
旋片泵 |
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抽气速率 |
1、L/S |
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排气接口 |
KF16 |
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真空测量 |
电阻规 |
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极限真空 |
1、0E-1Pa |
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供电电源 |
AC:220V 50/60Hz |
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抽气接口 |
KF16 |
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