1200℃三温区3路质量供气低真空CVD系统
- 电炉类型：高温电炉
- 电炉名称：1200℃三温区3路质量供气低真空CVD系统
- 电炉类型：热震炉
- 电炉系列：西格马SGM
- 电炉规格：
- 电炉温度：
- 咨询热线：400-600-3293
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产品详情
1200℃三温区3路质量供气低真空CVD系统管式炉采用高清真彩触控屏操作，简单易上手，即使是非专业人员经过简单的培训也可以熟练掌握仪器的使用方法，能够极大的提高您的实验效率。
系统所配有的三路质量流量计，精度高可靠性强，可以准确混合1~3路气体，操作面板采用数字显示，直观高效。若客户有特殊需要也可联系技术人员定制任意数量的气路。
技术参数：
真
空
管
式
炉
电炉型号
SGM- O1200-50IIIT
炉管材质
高纯石英
炉管直径
50mm（可选配60mm、80mm、100mm）
炉管长度
1300mm
炉膛长度
1060mm
加热区长
300mm+300mm+300mm
工作温度
0～1100℃
控温精度
±1℃
控温模式
30段或50段程序控温
显示模式
LCD
密封方式
304不锈钢真空法兰
法兰接口
1/4英寸卡套接头、KF16/25/40接头
可抽真空
4、4E-3Pa
供电电源
AC:220V 50/60Hz
供
气
系
统
电炉型号
SGM-3Z
气体通道
3通道
测量部件
气体质量流量计
测量量程
A通道：0～100SCCM H2气
备注：如需其它量程或气体种类，定货时需要特别注明。可根据客户的具体要求来选配对应的气体种类和量程的流量计。
B通道：0～300SCCM N2气
C通道：0～500SCCM Ar气
测量精度
±1、0%F.S
管道耐压
3MPa
工作压差
50～300KPa
连接管道
304不锈钢
控制阀门
304不锈钢针阀
接口规格
进气口和出气口为1/4英寸卡套接头
供电电源
AC:220V 50/60Hz
排
气
系
统
机械泵
旋片泵
抽气速率
1、L/S
排气接口
KF16
真空测量
电阻规
极限真空
1.0E-1Pa
供电电源
AC:220V 50/60Hz
抽气接口
KF16
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