1200℃双温区3路浮子供气高真空CVD系统
- 电炉类型：高温电炉
- 电炉名称：1200℃双温区3路浮子供气高真空CVD系统
- 电炉类型：热震炉
- 电炉系列：西格马SGM
- 电炉规格：
- 电炉温度：
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产品详情
1200℃双温区3路浮子供气高真空CVD系统管式炉采用高清真彩触控屏操作，简单易上手，即使是非专业人员经过简单的培训也可以熟练掌握仪器的使用方法，能够极大的提高您的实验效率。
系统所配有的三路浮子流量计，可以较为准确的配制出实验所需的混合气体；另有一压力表安装在浮子流量计正面，可以监测气体压力及混合槽压力。
本系统还配有精密分子泵组，可以达到1、0E-3pa级别的真空度，较普通机械泵可以为用户提供更纯净严苛的实验环境。
适用于高校、科研院所、工矿企业做高温烧结、金属退火、质量检测等，尤其适合需要多种气体混合的气氛环境的CVD实验。
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真 空 管 式 炉 |
电炉型号 |
SGM-O1200-50IIT |
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炉管材质 |
高纯石英 |
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炉管直径 |
50mm（可选配60mm、80mm、100mm） |
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炉管长度 |
1000mm |
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炉膛长度 |
440mm |
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加热区长 |
200mm+200mm |
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工作温度 |
0～1100℃ |
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控温精度 |
±1℃ |
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控温模式 |
30段或50段程序控温 |
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显示模式 |
LCD |
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密封方式 |
304不锈钢真空法兰 |
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法兰接口 |
1/4英寸卡套接头、KF16/25/40接头 |
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可抽真空 |
4、4E-3Pa |
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供电电源 |
AC:220V 50/60Hz |
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供 气 系 统 |
电炉型号 |
SGM-3F |
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气体通道 |
3通道 |
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测量部件 |
气体浮子流量计 |
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测量量程 |
A通道：0～100ml/min H2气 |
备注：如需其它量程或气体种类，定货时需要特别注明。可根据客户的具体要求来选配对应的气体种类和量程的流量计。 |
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B通道：16～160 ml/min N2气 |
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C通道：25～250 ml/min Ar气 |
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测量精度 |
±2、0% |
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管道耐压 |
3MPa |
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工作压差 |
50～300KPa |
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连接管道 |
304不锈钢 |
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控制阀门 |
304不锈钢针阀 |
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接口规格 |
进气口和出气口为1/4英寸卡套接头 |
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排 气 系 统 |
电炉型号 |
SGM-GZK103-A |
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分子泵 |
SGM-600 |
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前极泵 |
旋片泵 |
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抽气速率 |
分子泵：600L/S |
综合抽气性能：30分钟真空度可达：1.0E-3Pa |
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旋片泵：1、L/S |
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抽气接口 |
KF40 |
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排气接口 |
KF16 |
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真空测量 |
复合真空计：电阻规+电离规 |
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极限真空 |
1.0E-5Pa |
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供电电源 |
AC:220V 50/60Hz |
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