1200℃单温区三通道混气CVD系统
- 电炉类型：高温电炉
- 电炉名称：1200℃单温区三通道混气CVD系统
- 电炉类型：热震炉
- 电炉系列：西格马SGM
- 电炉规格：
- 电炉温度：
- 咨询热线：400-600-3293
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产品详情
1200℃单温区三通道混气CVD系统采用全彩高清触控屏操作，简单易上手，即使是非专业人员经过简单的培训也可以熟练掌握仪器的使用方法，能够极大的提高您的实验效率。系统所配有的三路浮子流量计，可以混合1~3路气体，较为准确的配制出实验所需的混合气体；另有一压力表安装在浮子流量计正面，可以监测气体压力及混合槽压力。
适用于高校、科研院所、工矿企业做高温烧结、金属退火、质量检测等，尤其适合需要多种气体混合的气氛环境的CVD实验。
1200℃单温区三通道混气CVD系统技术参数：
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项目 |
明细 |
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供电电压 |
AC220V，50Hz |
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MAX功率 |
5KW |
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加热温区 |
455mm |
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工作温度 |
1100℃ （1200℃＜1h） |
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控温精度 |
±1℃ |
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升温速率 |
建议≤10℃/min |
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控温方式 |
AI-PID 30段工艺曲线，可存储多条 三温区立控制，带有过热和断偶保护 |
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炉管材质 |
高纯刚玉 |
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炉管尺寸 |
φ60mm O.D×1300mm L |
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气体通道 |
三通道质量流量计 |
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气体量程 |
A：100sccm B：300sccm C：500sccm |
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系统真空 |
5~10Pa（如需更高真空度可以选配其他的泵） |
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