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全自动CVD滑轨炉设备操作时可将实验需要的恒定高温直接推到样品处,使样品能得到一个快速的升温速度,同样也可将高温的管式炉直接推离样品处,使样品直接暴露在室温环境下,得到快速的降温速率。
适用于高校、科研院所、工矿企业做石墨烯的生长、高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火,尤其适合需要快速升降温的CVD试验。
全自动CVD滑轨炉技术参数:
项目 |
明细 |
供电电压 |
AC220V,50Hz |
整机功率 |
5KW |
工作温度 |
≤1100℃ |
加热速率 |
建议10℃/min |
炉管尺寸 |
O.D.50mm-220mm-220mm(加热区)-1200mm管长 |
控温精度 |
0.1℃ |
温区 |
双温区 |
混气系统 |
4路质子流量计:100sccm1个;200sccm1个;500sccm2个 |
真空泵 |
双极旋片真空泵 |