1200℃三温区三通道混气CVD系统
- 电炉类型：高温电炉
- 电炉名称：1200℃三温区三通道混气CVD系统
- 电炉类型：热震炉
- 电炉系列：西格马SGM
- 电炉规格：
- 电炉温度：
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产品详情
1200℃三温区三通道混气CVD系统采用全彩高清触控屏操作，简单易上手，即使是非专业人员经过简单的培训也可以熟练掌握仪器的使用方法，能够极大的提高您的实验效率。系统所配有的三路浮子流量计，可以较为准确的配制出实验所需的混合气体；另有一压力表安装在浮子流量计正面，可以监测气体压力及混合槽压力。
适用于高校、科研院所、工矿企业做高温烧结、金属退火、质量检测等，尤其适合需要多种气体混合的气氛环境的CVD实验。
1200℃三温区三通道混气CVD系统技术参数：
项目
明细
供电电压
AC220V，50Hz
MAX功率
5KW
加热温区
220mm+440mm+220mm
工作温度
1100℃ （1200℃＜1h）
控温精度
±1℃
升温速率
建议≤10℃/min
控温方式
AI-PID 30段工艺曲线，可存储多条
三温区立控制，带有过热和断偶保护
炉管材质
高纯石英
炉管尺寸
φ60mm O.D×1300mm L
气体通道
三通道质量流量计
气体量程
A：100sccm B：300sccm C：500sccm
系统真空
5~10Pa（如需更高真空度可以选配其他的泵）
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