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1200℃三温区旋转自动进出料CVD系统安装有投料器和收料罐。1200℃三温区旋转自动进出料CVD系统投料器可以以额定速率将粉料送入炉管,可实现在气氛保护的环境下连续对粉末材料用CVD方法进行包裹和修饰。收料罐可以在气氛保护环境下对处理好的料粉进行收集。
1200℃三温区旋转自动进出料CVD系统广泛用于烧结无机化合物,通过机械传动控制工作管能360°不间断旋转,使得管内物料搅拌混合获得均匀受热效果。
此款管式炉设计主要是在锂离子电池的阴极材料(如LiFePO3, LiMnNiO3)上包覆导电层,同时也可用CVD方式制备 Si/C 阳极材料。
1200℃三温区旋转自动进出料CVD系统技术参数:
真
空
管
式
炉
Max功率
4、5kw
炉管材质
外管不锈钢,内管石英
炉管直径
两端60mm,中间100mm
炉管长度
1640mm
炉膛长度
1060mm
加热区长
200mm+200mm+200mm
恒温区长
200mm
工作温度
0~1100℃
控温精度
±1℃
控温模式
30段或50段程序控温
显示模式
LCD
密封方式
304不锈钢真空法兰
法兰接口
1/4英寸卡套接头,KF16/25/40接头
可抽真空
4、4E-3Pa
供电电源
AC:220V 50/60Hz
倾斜角度
0~15°
转速
0~20转
供
气
系
统
电炉型号
SGM-3F
气体通道
3通道
测量部件
气体浮子流量计
测量量程
A通道:0~100ml/min H2气
备注:如需其它量程或气体种类,定货时需要特别注明。可根据客户的具体要求来选配对应的气体种类和量程的流量计。
B通道:16~160ml/min N2气
C通道:25~250ml/min Ar气
测量精度
±2、0%
管道耐压
3MPa
工作压差
50~300KPa
连接管道
304不锈钢
控制阀门
304不锈钢针阀
接口规格
进气口和出气口为1/4英寸卡套接头
排
气
系
统
机械泵
旋片泵
抽气速率
1、L/S
排气接口
KF16
真空测量
电阻规
极限真空
1.0E-1Pa
供电电源
AC:220V 50/60Hz
抽气接口
KF16
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