结构特点

•150W射频电源可实现等离子增强从而显著降低实验温度

•3通道质子流量计控制系统可以对气体的输送进行的调控

工作电源

•AC208-220V，50/60Hz

•总功率：4KW

单温区管式炉

•额定温度：1100ºC(lt; 2h)连续工作温度：1000℃

•PID温度控制器以及30段可编程温控系统

•输入功率：220V，单相，功率：5、KW

•加热区长度：200mm，恒温区：100mm

•炉体开启式设计，以达到对样品快速降温，方便更换炉管

等离子射频电源

•输出功率：0-150W可调（稳定性：±1%）

•射频频率：13、56MHz(稳定性：±0.005%)

•*大反射功率：150W

•匹配：自动匹配

•射频输出端口：50Ω、N型

•噪音：＜50dB

•冷却:空气冷却

•电源: 220VAC, 50/60Hz

石英管

•高纯石英管

•尺寸：φ50mm*1200mm L

密封法兰

•一对不锈钢快接法兰（法兰上安装有KF25真空接头）

真空泵（该部分为选配，单计费）

•双级真空泵

•KF16卡箍及波纹管用于连接管式炉与真空泵

3通道质子流量计控制系统（该部分为选配，单计费）

•4通道质子流量计控制系统可实现气体流量的控制（度：±0.02%）

•流量范围:

一路: 0~100 SCCM

二路: 0~200 SCCM

三路: 1~200 SCCM

•电压：220V AC 50/60Hz

•气体进出口配件：直径6.35mm不锈钢管

•不锈钢针阀用于手动控制气体进出

尺寸和重量

•1400mm L x600mm W x1240mm H

•净重：90kg

质保期

•一年质保期，终生维护（石英管、O型密封圈、加热元件等耗材除外）

质量认证

•CE认证

使用注意事项

•炉管内气压不可高于0.02MPa

•由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀

•当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态

•进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击

•石英管的长时间使用温度＜1100℃

•对于样品加热的实验，使用时不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生。