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该滑道炉由炉体和轨道支架部分组成,同时可搭配进气系统和真空装置组成CVD系统。管式炉默认为600mm长的单温区设计,可以形成较长的恒温区域,也可定制为双温区或者三温区炉膛,以适应不同的试验需求。电炉安装在滑轨支架上,可以实现快速升降温,提升实验效率。炉管可配热电偶测温,可以准确控制反应条件。电炉采用智能温控表控温,操作简便直观。
滑道管式炉应用领域:
本电炉主要应用于需要快速升降温的实验,尤其适合快速热处理,也可以与其他设备共同组成CVD系统。
滑道管式炉技术参数:
单温区管式炉 |
电炉型号 |
SGM-O1200-50I-T-L600 |
炉膛长度 |
820mm |
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加热区长 |
600mm |
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恒温区长 |
300mm |
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工作温度 |
0~1100℃ |
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控温精度 |
±1℃ |
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控温模式 |
30段程序控温 |
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显示模式 |
LED高亮数码管 |
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供电电源 |
AC:220V 50/60Hz |
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炉管 |
炉管材质 |
高纯石英 |
炉管长度 |
φ50mm x 2000mm |
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密封方式 |
304不锈钢真空水冷法兰 |
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法兰接口 |
1/4英寸卡套接头 |
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抽气系统 |
机械泵 |
VRD-4 |
抽气速率 |
4L/S |
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排气接口 |
KF16 |
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真空测量 |
电阻规 |
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极限真空 |
1×10E-1Pa |
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供电电源 |
AC:220V 50/60Hz |
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抽气接口 |
KF16 |
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轨道 |
轨道长度 |
2m 能实现炉子至少一个炉位长度的滑动,实现快速升降温 |
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