RTP快速退火炉
- 电炉类型：高温电炉
- 电炉名称：RTP快速退火炉
- 电炉类型：电炉配件
- 电炉系列：西格马SGM
- 电炉规格：
- 电炉温度：
- 咨询热线：400-600-3293
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产品详情
RTP快速退火炉是我公司自主研发的功能强大的加热设备。RTP快速退火炉采用红外加热管加热，造型新颖结构合理，炉体和炉管可以自由滑动，可实现快速升降温。炉管内尺寸120mm，可以直接放下4英寸的材料，试样反应区处在一个密闭的石英炉体内，在完成生产工艺的同时也大大降低了间接污染试样的可能性。设备配备LCD高清触摸屏，设定数据实验操作均为图文界面，操作方便快捷易上手，能够大大提高您的实验效率。设备预留了真空和气路的快速接口，可以选购我们的真空系统和混气系统一起使用。
RTP快速退火炉应用领域：
快速退火炉设备，可用于快速热退火、快速热氧化、快速热氮化、硅化、扩散、化合物半导体退火、离子注入后退火、电极合金化、晶化和致密化、合金熔点分析、薄膜沉积等。
RTP快速退火炉技术参数：
电炉型号
SGM-O1000-120I-T-RTP
炉管材质
高纯石英
炉管直径
120mm
炉管长度
500mm
炉膛长度
440mm
加热区长
400mm
恒温区长
200mm
工作温度
0～500℃
升温速度
推荐80℃/s，快升温速度200℃/s
降温速度
200℃以上≤25min
控温精度
±1℃
控温模式
30段或50段程序控温
显示模式
LCD触摸屏
密封方式
304不锈钢真空法兰
法兰接口
1/4英寸卡套接头(Ø8宝塔嘴接头)
可抽真空
4、4E-3Pa
供电电源
AC:220V 50/60Hz
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