三路质量流量计
- 电炉类型：高温电炉
- 电炉名称：三路质量流量计
- 电炉类型：电炉配件
- 电炉系列：西格马SGM
- 电炉规格：
- 电炉温度：
- 咨询热线：400-600-3293
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电阻炉系列product
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产品详情
○ 适用范围
1、半导体制造业
2、真空镀膜设备
3、特殊材料表面处理
4、燃气控制
5、泄漏检测系统
6、环境检测分析设备
7、化学，石化，冶金，光纤等
○ 电炉特点
1、选择多种气体方式
3、04不锈钢管芯，耐腐蚀
3、不锈钢双卡快速接头，连接方便，无泄漏
○ 技术参数
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功能 |
三路质量流量计 |
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质子流量控制器 |
工作温度：5~45ºC |
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输入电源 |
AC220V/50Hz单相 |
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功率 |
150W |
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机械压力表 |
有一机械压力表安装于前面板上，与混气罐相连接 量程:-0.1~0.15MPa(0.01MPa/grid) |
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针阀 |
316不锈钢 |
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通气管道 |
内部连接管道为1/4”不锈钢管 外部通气管道为1/4”聚四氟管 |
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混气罐 |
Φ80X120mm |
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截止阀及配件 |
316不锈钢针阀 Φ1/4”不锈钢管 |
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外形尺寸 |
600mm(L)x745mm(W)x700mm(H) |
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质量认证 |
CE认证 |
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质保期 |
一年质保期，终身维护 |
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