怎么判断真空烧结炉是欠烧还是过烧？在开始烧结之前要先确认真空烧结炉的每个加热灯管是否可以正常运行。检查真空烧结炉各个温区的灯管输出的功率是否高于其他温区灯管的平均值，来保证烧结的平均性。

发现欠烧时，穿透氮化硅的银浆留有残余，那么进入N型层的银浆也比较少，欧姆接触效果不好，会造成串联的电阻较大。过烧时，银的消耗量会较平时多一些，而且会形成有银硅形成的混合层，这个混合层会起到阻碍的作用，同样也会形成串联的电阻过大。所以单单通过电阻不能推断是欠烧还是过烧状态。

当无法判断烧结的状态时可以调节8区的温度，找到大概的调节点，然后缓慢进行微调。微调的时候我们可以通过背场的状态来判断，如果背场微微鼓起，那么就是出于过烧，所以应微调降低温度。

希望对大家遇到真空烧结炉是欠烧还是过烧问题有所帮助。