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1200℃高温真空CVD设备

  • 电炉类型:高温电炉
  • 电炉名称:1200℃高温真空CVD设备
  • 电炉类型:热震炉
  • 电炉系列:西格马SGM
  • 电炉规格:
  • 电炉温度:
  • 咨询热线:400-600-3293
  • 产品详情

产品介绍:


SGM-T1200-S6012LK1-3FH5S型高温真空CVD设备由SGM-T1200滑动式快速退火管式炉+真空系统+供气系统组成 ,额定温度可以达到1200度,可以是单温区、双温区、三温区等,极限真空可以达到10-3Pa,供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计,混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合,可以对多种气体进行精度的混气,然后导入到管式炉内部。

SGM-T1200-S6015LK1-H系列快速退火炉管两端安装真空法兰,真空度用分子泵可以到10-5Torr,机械泵可到10-3Torr。炉底安装一对滑轨,可用手动滑动。加热和冷却速率额定可达100deg;C/m。为取得蕞快加热,可以预先加热炉子到设定的温度,然后移动炉子到样品位置。为获得蕞快冷却,可在样品加热后移动炉子到另一端。加热和冷却速率在真空或者惰性气体环境下可以达到10deg;C/s,是低成本快速热处理的不错炉子。



应用范围:



SGM-T1200-S6012CK-3F5S型高温真空CVD设备是一种特殊的高真空CVD系统,是高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火用的不错产品。

规格参数:

结构 采用双层壳体结构,并带有分冷,使得壳体表面的温度小于55deg;C。保温材料采用高纯氧化铝多晶纤维可以环保节能,减少热量的损失内炉膛表面涂有的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率,同时也可以延长仪器的使用寿命
加热元件
掺钼合金加热丝
工作温度 1100deg;C
额定温度 1200deg;C
额定升温速率 20deg;C/min
加热区长度 400mm(18quot;)
恒温区长度 180mm(+/-1deg;C)
温控系统 一个精密温度控制器PID方式控制,通过可控硅SCR可设置30段升降温程序。
控温精度 +/-1deg;C
炉管材质和尺寸 石英管 ID:72mmxOD:80mmx1000mm
密封法兰 两个不锈钢密封法兰,法兰上已经安装数字式真空显示计,和阀门通过机械泵真空压力可以达到5x10-2torr,泄漏率额定6mtorr/min
输入电源 AC208~240V,单相,50/60Hz,功率:额定5KW
真空泵和配件 真空泵 一个双旋片式机械泵安装在移动架内通过此机械泵真空度可以达到5x10^-2torr
配件 标配的真空配件:一对不锈钢密封法兰和KF-25真空泵接口,两个不锈钢针阀,1/4quot;的软管接头一个1000mm长的KF-25不锈钢波纹管和四个KF-25不锈钢快速卸装卡箍一个LED数字式真空显示计(测量范围:0.1mtorr~850torr)
气体流量计 4个浮子流量计,可同时混入4种不同气体。
四通道控制 精度0.02% 、数字显示、自动控制、 一个混气罐、底部装有泄废液口
MFC 1范围 0~100 sccm
MFC 2和3 0~500 sccm
进气接口 1/4NPS
出气接口 1/4NPS
产品尺寸 外径80amp;1000mm的氧化铝石英管
炉体尺寸:550x500x700mmLxWxH
混气系统::600x600x700mm真空机组:600x600x700mm



标准配件:


浮子混气系统1台、双旋机械泵1台、K型热电偶1支、气炼石英炉管1根、不锈钢法兰1套、不锈钢炉钩1、刚玉炉塞2对、高温手套1副、刚玉坩埚2个、说明书1份



注:坩埚可按用户需求选配合适的款型

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#160;1、我对所供设备提供质保一年保修服务(易损件除外),在保修期内因设备质量原因造成的设备损坏或故障,均予以免费维修。保修期满后,仍提供终身的、质的维修服务。
#160;2、在设备使用过程中如遇故障的,我将尽快做出处理方案,确保设备正常运行。
#160;3、我设提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训。
#160;4、我技术人员可提供上门服务(产品安装调试、整机维护、技术讲解及操作指导等)。
#160;5、本可提供运输服务,包装方式均按照标准安全包装进行。随机技术资料齐全(用户手册、保修手册、有关资料及配件、随机工具等)。
#160;6、本所有产品均有欧盟CE质量认证。

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#160;#160;西格马电炉有限是一家专业从事电炉产品的研发、生产与销售的高新技术企业。我产品具有升温快、节能、温控精度高、保温性能好、微电脑控制、可编程全自动升温降温、炉壁温度接近室温、使用寿命长等特点;常规型号达到上百种,并可根据客户需求定制各式炉型,以满足高校、科研院所和工矿企业做高温烧结、金属退火、气氛还原和质量检测之用,广泛应用于陶瓷、化工、电子、冶金、新材料开发、机械、耐火材料、建材、特种材料等领域的实验和生产,受到广大新老用户的一致好评。

#160;#160;主要产品有箱式马弗炉、管式电阻炉、真空炉、气氛炉、坩埚炉、CVD系统、牙科炉、升降炉、轨道炉、台车炉、退火炉、升降炉、微波烧结炉、烤瓷炉等标准及非标实验电炉和工业电炉,并提供各类电炉配件、加热元件及耐火材料。

西格马郑重承诺:每台电炉出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试,为客户提供放心可靠的产品!!!

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哪个厂家的质量好?生产厂家西格马质量好,售后完善。

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