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四路高温真空CVD设备

  • 电炉类型:高温电炉
  • 电炉名称:四路高温真空CVD设备
  • 电炉类型:热震炉
  • 电炉系列:西格马SGM
  • 电炉规格:
  • 电炉温度:
  • 咨询热线:400-600-3293
  • 产品详情

产品介绍:


SGM-T1200-S60K-4C型四路高温真空CVD设备由SGM-T1200滑动式快速退火管式炉+真空系统+供气系统组成 ,额定温度可以达到1200度,极限真空可以达到10-3Pa,供气系统是流量调节可以是质子流量计,可以对多种气体进行精度的混气,然后导入到管式炉内部。

SGM-T1200-S60K-4C系列快速退火炉管两端安装真空法兰,真空度用分子泵可以到10-5Torr,机械泵可到10-3Torr。炉底安装一对滑轨,可用手动滑动。加热和冷却速率额定可达100deg;C/m。为取得蕞快加热,可以预先加热炉子到设定的温度,然后移动炉子到样品位置。为获得蕞快冷却,可在样品加热后移动炉子到另一端。加热和冷却速率在真空或者惰性气体环境下可以达到10deg;C/s,是低成本快速热处理的不错炉子。



应用范围:


SGM-T1200-S60K-4C型四路高温真空CVD设备是一种特殊的高真空CVD系统,是高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火用的不错产品。

规格参数:

电炉型号 四路高温真空CVD设备
常规型号 SGM-T1200-S60K-4C
工作温度 1100deg;C
额定温度 1200deg;C
加热速率 建议:0-10deg;C/min {额定:0-20℃/min}
加热区 三温区
加热区长度 200+350+200mm
控温精度 ±1deg;C
炉管直径 OD60mm
炉管长度 大约1200mm-1400mm
真空法兰 两个不锈钢密封法兰,法兰上已经安装数字式真空显示计,和阀门通过机械泵真空压力可以达到5x10-2torr,泄漏率额定6mtorr/min
温控 智能PID多段程序控温
加热曲线 30段可编程
功率 4KW
电压 220V,50HZ,单相
质子流量计 4路精密质子流量计:数字显示、气体流量自动控制。
MFC 1范围: 0~100 sccm
MFC 2范围: 0~200 sccm
MFC 3范围: 0~200 sccm
MFC 4范围: 0~500 sccm
气路:4路
流量精度: 0.2%
进气和出气接口: 1/4quot; 卡套
一个混气罐。
每路气路都有一个立的不锈钢针阀控制。
通过控制面板上的旋钮来调节气体流量。



标准配件:


质子混气系统1台、双旋机械泵1台、K型热电偶1支、气炼石英炉管1根、不锈钢法兰1套、不锈钢炉钩1、刚玉炉塞2对、高温手套1副、刚玉坩埚2个、氢气检漏器1个、说明书1份



注:坩埚可按用户需求选配合适的款型

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#160;1、我对所供设备提供质保一年保修服务(易损件除外),在保修期内因设备质量原因造成的设备损坏或故障,均予以免费维修。保修期满后,仍提供终身的、质的维修服务。
#160;2、在设备使用过程中如遇故障的,我将尽快做出处理方案,确保设备正常运行。
#160;3、我设提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训。
#160;4、我技术人员可提供上门服务(产品安装调试、整机维护、技术讲解及操作指导等)。
#160;5、本可提供运输服务,包装方式均按照标准安全包装进行。随机技术资料齐全(用户手册、保修手册、有关资料及配件、随机工具等)。
#160;6、本所有产品均有欧盟CE质量认证。

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#160;#160;西格马电炉有限是一家专业从事电炉产品的研发、生产与销售的高新技术企业。我产品具有升温快、节能、温控精度高、保温性能好、微电脑控制、可编程全自动升温降温、炉壁温度接近室温、使用寿命长等特点;常规型号达到上百种,并可根据客户需求定制各式炉型,以满足高校、科研院所和工矿企业做高温烧结、金属退火、气氛还原和质量检测之用,广泛应用于陶瓷、化工、电子、冶金、新材料开发、机械、耐火材料、建材、特种材料等领域的实验和生产,受到广大新老用户的一致好评。

#160;#160;主要产品有箱式马弗炉、管式电阻炉、真空炉、气氛炉、坩埚炉、CVD系统、牙科炉、升降炉、轨道炉、台车炉、退火炉、升降炉、微波烧结炉、烤瓷炉等标准及非标实验电炉和工业电炉,并提供各类电炉配件、加热元件及耐火材料。

西格马郑重承诺:每台电炉出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试,为客户提供放心可靠的产品!!!

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哪个厂家的质量好?生产厂家西格马质量好,售后完善。

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