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ZSX1400系列真空马弗炉是针对实验室日常应用研发的,出色的焙烧效果、现代化的外型设计及高度的可靠性是此类电炉的突出特色。电炉采用硅碳棒为加热元件,炉膛采用氧化铝多晶体纤维材料。采用微电脑微电脑控制,操作方便,可编程,自动升温、自动保温、自动降温。
SGM真空马弗炉主要为高等院校,科研院所等单位的实验室选提供具有高真空、可控气氛及高温的试验环境,应用在半导体,电子陶瓷电炉、纳米技术、碳纤维、高温热解低温沉淀(CVD)、镀膜等新材料新工艺领域。
1、设备密封性能良好,可通多种气体(氮气、氩气、氧气等);
2、双层炉体设计,带空气隔离层,带冷却风扇;
3、采用多晶体纤维材料,比传统电炉节能30%;
4、加热元件采用硅碳棒;
5、按钮机械寿命不低于20万次(1200次/小时) ;
6、、采用多段程序控温,可编程、自动升温、保温,数显电流表;
7、升温速度快 高达20℃/min;
8、气管采用快接插头,拆卸方便;
9、真空度为100pa;
10、选配西格马智能控制系统,采用高分辨率触摸屏和温度控制模块,对工艺温度曲线进行全程监控、操作,记录、存储;
11、选配扩散泵机组,真空度 6×10-2pa;
参数名称 | 单位 | 型号 | ||||||||
ZSX-4-14 | ZSX-6-14 | ZSX-8-14 | ZSX-10-14 | ZSX-12-14 | ZSX-15-14 | ZSX-21-14 | ||||
额定功率 | KW | 4 | 6 | 8 | 10 | 12 | 15 | 21 | ||
额定电压 | V | 220 | 220 | 380 | 380 | 380 | 380 | 380 | ||
额定温度 | ℃ | 1400 | 1400 | 1400 | 1400 | 1400 | 1400 | 1400 | ||
工作温度 | ℃ | ≤1350 | ≤1350 | ≤1350 | ≤1350 | ≤1350 | ≤1350 | ≤1350 | ||
相 数 | 相 | 单 | 单 | 三 | 三 | 三 | 三 | 三 | ||
极限真空 | pa | 100 | 100 | 100 | 100 | 100 | 100 | 100 | ||
保护气体 | 氮气 | 氮气 | 氮气 | 氮气 | 氮气 | 氮气 | 氮气 | |||
气体流量 | L/min | ≤30 | ≤30 | ≤30 | ≤30 | ≤30 | ≤30 | ≤30 | ||
炉膛尺寸 | L | 300 | 300 | 400 | 400 | 500 | 400 | 500 | ||
W | 200 | 200 | 250 | 300 | 300 | 300 | 400 | |||
H | 150 | 200 | 160 | 200 | 200 | 300 | 400 | |||
容积 | L | 9L | 12L | 16L | 24L | 30L | 36L | 80L | ||
炉膛材料 | V | 质陶瓷纤维 | 质陶瓷纤维 | 质陶瓷纤维 | 质陶瓷纤维 | 质陶瓷纤维 | 质陶瓷纤维 | 质陶瓷纤维 | ||
加热元件 | 硅碳棒 | 硅碳棒 | 硅碳棒 | 硅碳棒 | 硅碳棒 | 硅碳棒 | 硅碳棒 | |||
升温速率 | ℃/min | 0-30 | 0-30 | 0-30 | 0-30 | 0-30 | 0-30 | 0-30 | ||
控温精度 | ℃ | ±1 | ±1 | ±1 | ±1 | ±1 | ±1 | ±1 | ||
配件 | ||||||||||
真空泵 | 手套 | 垫板 | 坩埚 | |||||||
选配件 | ||||||||||
智能控制(触摸屏) | 移动平台 | 高温石英观察窗 | 坩埚钳 | |||||||
备注 | 以上技术参数仅供参考,想进一步了解设备详细的技术参数,请与我公司相关人员联系,设备的订购与实物的参数为准。 |