四路高温真空CVD涂层设备
- 电炉类型：高温电炉
- 电炉名称：四路高温真空CVD涂层设备
- 电炉类型：热震炉
- 电炉系列：西格马SGM
- 电炉规格：
- 电炉温度：
- 咨询热线：400-600-3293
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产品详情
电炉概述：
四路高温真空CVD设备由滑动式快速退火管式炉+真空系统+供气系统组成 ，额定温度可以达到1200度，极限真空可以达到10-3Pa，供气系统是流量调节可以是质子流量计，可以对多种气体进行精度的混气，然后导入到管式炉内部。 SGM-T1200-S60K-4C系列快速退火炉管两端安装真空法兰，真空度用分子泵可以到10-5Torr，机械泵可到10-3Torr。炉底安装一对滑轨，可用手动滑动。加热和冷却速率额定可达100deg;C/m。为取得蕞快加热，可以预先加热炉子到设定的温度，然后移动炉子到样品位置。为获得蕞快冷却，可在样品加热后移动炉子到另一端。加热和冷却速率在真空或者惰性气体环境下可以达到10deg;C/s，是低成本快速热处理的不错炉子。
适用范围：
四路高温真空CVD设备是一种特殊的高真空CVD系统，是高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、CVD涂层、真空退火用的不错电炉。
标准配件：
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气炼石英炉管times;1 |
浮子混气系统times;1 |
真空系统times;1 |
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高温手套times;1 |
坩埚钳times;1 |
热电偶times;1 |
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刚玉坩埚times;2 |
炉塞times;2 |
中文说明书times;1 |
注：炉管、坩埚可按用户需求选配合适的款型
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电炉名称 |
四路高温真空CVD设备 |
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电炉型号 |
SGM-T1200-S60K-4C |
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工作温度 |
1100℃(可选) |
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额定温度 |
1200℃（额定可选1700℃） |
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加热 区 |
三温区（可定制） |
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加热区长度 |
200+350+200mm（可根据需求定制） |
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加热速率 |
建议：0- 10deg;C/min {额定：0-20℃/min} |
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温控精度 |
±1℃（具有超温及断偶报警功能） |
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加热元件 |
掺钼铁鉻铝合金（表面涂有氧化锆涂层，使其额定程度延长使用寿命） |
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加热速率 |
0~20 ℃ / 分 |
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工作电压 |
220V，50HZ，单相 |
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功 率 |
4KW |
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控温方式 |
智能化30段可编程控制（用户可选配液晶触摸屏显示） |
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质子流量计 |
4路精密质子流量计：数字显示、气体流量自动控制。 MFC 1范围: 0~100 sccm MFC 2范围: 0~200 sccm MFC 3范围: 0~200 sccm MFC 4范围: 0~500 sccm 。 |
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电气认证 |
CE认证 |
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售后服务 |
12个月质保、终身保修 |
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