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硫化物CVD系统(分体式)

  • 电炉类型:高温电炉
  • 电炉名称:硫化物CVD系统(分体式)
  • 电炉类型:热震炉
  • 电炉系列:西格马SGM
  • 电炉规格:
  • 电炉温度:
  • 咨询热线:400-600-3293
  • 产品详情

概述

此套系统H-CVD-1200S前端配有可加热到0-1000℃的蒸发器,辅助固体源蒸发,后端为双温区硫化炉,温度控制精度,操作简便。

左端配有法兰支撑架可将预热器和硫化炉分开使用。右端可配气氛微调装置,可以准确的反应炉体内部的气体压力,带刻度的调

节阀对于做低压CVD非常实用,重复性好;真空机组装有真空粉尘过滤器以保护机械式真空泵不被硫粉尘损坏。整套系统可在1200℃

以下的工艺温度稳定气相沉积二硫化钼等二维化合物材料。

设备组成

HTF-1100蒸发器,HTF-1200D双温区管式炉,(蒸发器与高温反应区采用分体式),

主要技术参数

蒸发器

型号:HTF-1100

工作温度:室温-1000℃

额定温度:1050℃

蕞快升温速率:30℃/min

推荐升温速率:10℃/min

控温方式:智能化30段可编程控制

工作电压:AC220V

额定功率:1000W

控温精度:±1℃

加热元件:电阻丝

加热区长度(mm):150mm

双温区硫化炉

型号:HTF-1200D

技术参数:

额定功率(KW):3

额定电压(V):AC220v50/60Hz

额定温度(℃):1200(1hour)

持续工作温度(℃):1100

升温速率(℃/min):≤50

炉管尺寸(mm):

高纯石英管Φ50×1500mm

加热区长度(mm):150/300mm

恒温区长度(mm):100/120mm

控温方式:模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能

控温精度(℃):±1

加热元件:电阻丝

配件

配真空粉尘过滤器,DN25手动蝶阀用于控制炉管内压力,防腐型数显真空计,三路混气系统(可选)

哪个厂家的质量好?生产厂家西格马质量好,售后完善。
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