1、清洗镀膜一气呵成，杜绝二次污染；

2、上开启式结构，方便观察试样；

3、电炉采用全自动控制方式，触摸屏，数字化显示；

4、设备一体化程度高；

5、稳定的射频电源，均匀的温度分布，提高成膜质量；

电炉型号

SGM-PECVD1200-80IT

电气规格

AC220V 4KW

额定温度

1200 ℃

连续温度

1150℃

额定加热速率

≤ 20 ℃/分钟

射频电源

500W13、56MHz

炉管尺寸

Φ80*1200mm

如图所示：此为该设备沉积过程中的示意图

控制系统

1、采用全自动控制方式,触摸屏实时显示设备各项数据；

2、实验过程更加直观，操作更加便捷；

3、具有超温报警、断偶提示、漏电保护等功能。

温度精度

+/- 1 ℃

加热元件

Mo掺杂的Fe-Cr-Al合金

密封系统

真空度：≤10Pa（机械泵）

压力测量与监控

采用数显真空计，可使设备真空度更加直观，实验结果更加准确。

供气系统

采用两路质子流量计精度控制气体流速，与设备集成为一体；

净重

360KG

设备使用注意事项

1、设备使用时，炉管内压力不得超过0.125MPa（绝对压力），以防止压力过大造成设备损坏；

2、真空下使用时，设备使用温度不得超过800℃。

服务支持

1年质保，提供终身支持（保修范围内不包括易耗部件，例如炉管和密封圈等）。