真空系统说明：

1、真空系统为扩散泵机组：即为扩散泵+旋片真空泵；由高真空扩散泵、水冷挡板、 旋片真空泵、电磁真空带充气阀、高真空气动档板阀（主阀）、高真空气动档板阀预抽阀 、高真空气动档板阀（出口阀）、前级管路充气阀、连接管路、密封圈、复合真空计及配 电柜等组成的抽气系统。

2、本机组不适宜抽除对金属有腐蚀作用和对泵油起化学反应的气体。它可作为真空 冶炼、真空烧结、真空热处理、真空镀膜、真空钎焊、太空模拟实验装置等高科技设备的 高真空获得装置。工作环境温度5~40°C，相对湿度不大于85%，冷却水温度25°C+5°C。

3、真空度与真空泵的抽气能力、舱室的密封性以及舱室内部材料（炉体内壁、实验 器件、热沉等）的放气M有关，本机组的极限压力为lX10-3pa，使用压力为lX10-2pa, 抽气时间约为1小时。

4、扩散泵不能单形成抽气，需由前级泵将系统压力降低至扩散泵要求启动的压力之内 ，一般为 ≤10pa。

5、在扩散泵的进气口装有新型的水冷档板，可有效的防止扩散泵中的油蒸汽返流入 真空室内，避免对实验仪器的污染。

6、为了防止前级泵中的真空油在停泵时返流入扩散泵泵腔内，需在前级真空的进气 口配电磁阀，在停泵时自动将系统管路隔离。

7、阀门采用气动方式，操作方便。

8、在开始抽气时，此系统中设置有预抽管路,被抽气体不经过扩散泵而由前级泵直接抽 出，这样做可避免被抽容器中气体对扩散泵的污染（水分、挥发物、杂质），待被抽容器 压力降低至10pa时，关闭预抽阀、开启挡板阀，扩散泵开始对被抽容器开始正常抽气。

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