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CVD系统O1200-℃ITD3F

  • 电炉类型:高温电炉
  • 电炉名称:CVD系统O1200-℃ITD3F
  • 电炉类型:热震炉
  • 电炉系列:西格马SGM
  • 电炉规格:
  • 电炉温度:
  • 咨询热线:400-600-3293
  • 产品详情

系统描述

电炉型号

SGM-O1200-XIT(炉管直径50、60、80、100mm可选)

工作温度

≤1150℃

加热区尺寸

440mm

升温速率

≤20℃/s

电气规格

AC220V 4KW

气体系统(可选购)

流量计类型

浮子流量计

质量流量计

管道示意图

进气接口数量

2、3、4(多路可选)

流量范围

20-250/20-800ml/min(多量程可选)

50/100/200sccm(多量程可选)

工作压差范围

0-0.15MPa

低真空系统(可选购)

真空泵型号

SGM-1、5C

SGM-3C

SGM-4C

抽气速率

1L/s

3L/s

4L/s

进排气口尺寸

Φ8mm宝塔接头

Φ8mm宝塔接头

KF16/25

极限压力

1000Pa

100Pa

10Pa

工作温度

5-40℃

电气规格

AC220V

高真空系统(可选购)

真空泵型号

SGM-103(A)

SGM-103(B)

SGM-103(C)

抽气速率

110L/s

600L/s

700L/s

真空测量计

复合真空计

极限压力

10^-3Pa

10^-4Pa

10^-5Pa

工作温度

5-40℃

电气规格

AC220V

AC 220V

AC 380V

* 支持非标定做,更多型号,欢迎来电垂询400-000-3746

哪个厂家的质量好?生产厂家西格马质量好,售后完善。

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