TL120011200-L-C双温区4通道低真空CVD系统
- 电炉类型：高温电炉
- 电炉名称：TL120011200-L-C双温区4通道低真空CVD系统
- 电炉类型：热震炉
- 电炉系列：西格马SGM
- 电炉规格：
- 电炉温度：
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产品详情
CVD系统由供气系统+管式炉+抽气系统 ，额定温度可以达到1200度、1400度、1600度、1700度，加热区间可以是单温区、双温区、三温区等，极限真空可以达到10-3Pa，供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计，混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。
这款CVD系统是由4路供气系统+TL1200-1200双温区管式炉+低真空系统组成
这款管式炉以电阻丝（Canthal）为加热元件，采用双层壳体结构和岛电控温仪表，能进行40段程序控温，移相触发、可控硅控制，炉膛采用氧化铝多晶纤维材料，具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等点，是高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火用的不错电炉.。
软件控制系统：该炉配有通讯接口和软件，可以直接通过电脑控制炉子的各个参数，并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况，炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出，并能把每个时刻的温度数据保存起来，随时可以调出。
开盖保护系统：该炉安装有行程开关，当炉盖打开时会自动切断电源，有效地保证使用者的安全。
密封系统：该炉顶盖和炉门（其他地方已经焊接好）均采用硅胶O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸，气密性好、可保证12小时压力表指针不偏转。
真空系统： 可配TW-1、5A真空泵和能够抽到10-1Pa真空泵或能够抽到10-4Pa德国分子泵。
炉膛材料：采用质炉膛材料，不掉粉、材料保温性能好、反射率高、温场均衡，抗热涨冷缩能力强。
加热元件：采用世界上高电阻丝瑞典Canthal A1 电阻丝 使用使用长，温场均衡。
漏电保护功能：该炉装了漏电空气开关，当炉体漏电时自动断电，以确保使用的安全性。
供气系统：该炉配有浮子流量计，客户可通过浮子流量计或质子流量计控制气体的流速（详细请查看选件）。
法兰：采用双环密封技术，有效的提高了法兰的气氛性，法兰上装有多种接头，可接电阻真空计、KF25波纹管并能做成容易撤卸的铰链式。
开盖： 该炉上盖的支撑采用了汽车升降杆，支撑好，用力轻。
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型号 |
TL1200-1200-I |
TL1200-1200-II |
TL1200-1200-III |
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功率 |
3KW |
3KW |
3KW |
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炉管尺寸 |
Dia 60(OD) X1000 mm |
Dia80(OD)X1000 |
Dia80(OD)X1000 |
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电源电压 |
220V
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相数 |
单相 |
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加热元件 |
电阻丝 0Cr7Al27M02 |
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控制方式（2组FP93岛电表） |
40段程序控温（岛电），可以分成4、2、1组程序，如果分成4组程序，每条程序为10段， FP93 6组PID控制，低、中、高温度段都能控制得很准确。 具有过温保护 断偶保护过温或断偶时电炉加热电路自动切断，（当电炉温度超过1200度或热电偶烧断时，主电路上的交流继电器会自动断开，主电路断开，面板上ON灯熄灭，OFF灯亮，有限的保护电炉）。。 仪表有华氏度（F）和摄氏度（C）可供选择 带有485 通讯接口 具有自动停机功能 可以储存多组程序、使用时可以任意调出。
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炉膛材料 |
氧化铝多晶体纤维 （氧化铝含量95%以上） |
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控制精度 |
+/- 1 ℃ |
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触发器 |
移相触发 |
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电器 |
浙江正泰 |
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可控硅 |
106/16E 德国西门康 |
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第二温区额定温度 |
1200 ℃ |
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第二温区额定温度 |
1100 ℃ |
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升温速率 |
≤30 ℃/ Min （可根据要求修改） |
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推荐升温速率 |
≤15 ℃/ Min |
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热电偶型号 |
K型 |
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一第温区加热段长度 |
205mm |
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第二温区加热段长度 |
205mm |
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| 一第温区恒温段长度 | 80mm | ||
| 第二温区恒温段长度 | 80mm | ||
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真空度 |
--0.1MPa 分子泵抽能够达到10-3Pa
TW-1、5A VRD-4 CDK280分组泵机组
1、一般粗略抽真空、把炉管里面的气体赶出来用：TW-1、5A即可 2、VRD-4能够把管式炉管的真空度抽到0.4Pa(需要用波纹管) 3、CDK分子泵机组能够把管式炉管的真空度抽到10-3Pa |
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真空法兰 |
铰链式法兰可以接电阻真空计和KF25波纹管的法兰普通式法兰 （该炉标配这种）
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电阻真空计（美国）（选购）（接口为KF16） |
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认证 |
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四周表面温度 |
≤45℃ |
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| 安全保护系统 |
炉体上带有空气开关和保险丝 ，当电流超过空开的额定电流时，空开会自动跳开，有效的保护电炉。
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| 开盖保护系统 | 该炉安装有行程开关，当炉盖打开时继电器会自动切断主电源，有效地保证使用者的安全 | ||
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描叙
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数量
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图片 |
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TL1200-1200 双温区管式炉 |
1 台 |
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石英管60mm OD x 1000mm L |
1根 |
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不锈钢法兰 |
1 套 |
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不锈钢炉钩 |
1 根 |
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氧化铝炉塞 |
2对 |
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高温手套 |
1 对 |
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氧化铝坩埚 |
5 个 |
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保险 |
1 个 |
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COM转USB接口 |
1 套 |
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说明书 |
1 份 |
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软件 |
1份 |
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哪个厂家的质量好?生产厂家西格马质量好，售后完善。
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