CVD系统由供气系统+管式炉+抽气系统 ，额定温度可以达到1200度、1400度、1600度、1700度，加热区间可以是单温区、双温区、三温区等，极限真空可以达到10-3Pa，供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计，混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。

OTL-CVD-1200-SCVD系统是由3路供气系统+OTL1200-S管式炉+真空系统组成

OTL-CVD-1200-SCVD系统以质电阻丝瑞典（Canthal）为加热元件，采用双层壳体结构和岛电控温仪表，能进行40段程序控温，移相触发、可控硅控制，炉膛采用氧化铝多晶纤维材料，具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等点，是高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火用的高温电炉设备。

(1)、表面温度高可达1420℃

(2)、表面为不锈钢色（非常亮、客户识别时要注意）、不会生锈，使用时间再长都不会掉渣。

(3)、Kanthal电阻丝资料下载

(4)、Kanthal电阻丝网本

(5)、电阻均衡、温场均衡性好

当电路过流或漏电时，空开会自动断开。

该炉配有通讯接口和软件，可以直接通过电脑控制炉子的各个参数，并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况，炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出，并能把每个时刻的温度数据保存起来，随时可以调出

1、真空吸滤成型的质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛。

2、采用技术成型。

3、炉膛里电阻丝的间距和节距全部按蕞的热工技术布置、经过热工软件模拟温场

4、采用4周加热，温场更加均衡

宇电程序控温仪表（标配）

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