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FGL(RTP)滑轨式管式炉(T max 1100℃)
滑轨式管式炉一体化结构设计,用于1100℃以下快速升温快速降温的特殊工艺要求,通过移动炉体实现快速冷却的目的。同时也可以预先设定温度,然后移动到样品处,达到快速升温的效果。适合使用广泛的RTP工艺及CVD石墨烯工艺。
特点
1、 工作温度RT~1000℃。
2、 智能程序控温仪控制精准,可编辑、储存并调用多段程序。
3、 采用陶瓷纤维FEC加热模块,电阻丝内嵌式环绕加热。
4、 炉壳结构,双层炉壳风冷结构。
5、 不锈钢双层密封法兰,进、出气美标针阀。
6、 两端可调节式法兰支撑结构,延长石英管的使用寿命。
7、 超温保护功能,当温度超过允许设定值自动断电。
8、 安全保护当炉体漏电时自动断电。
额外选配 炉内测量系统(氧含量检测系统、温度检测系统);
真空系统(旋片式机械泵、扩散泵机组、分子泵机组);
气氛系统(浮子流量计、质量流量计);
监控系统:(温度记录仪、触摸屏远程监控);
注:选件需配置拓展柜体;
技术参数
设备常规型号 |
高温度 |
管径 |
加热区 |
温区数 |
热电偶 |
电压 |
功率 |
FGL(RTP)-40/11/1 |
1100℃ |
40mm |
320 mm |
1个 |
K型 |
220V |
3、0KW |
FGL(RTP)-50/11/1 |
1100℃ |
50mm |
320 mm |
1个 |
K型 |
220V |
|
FGL(RTP)-60/11/1 |
1100℃ |
60mm |
320 mm |
1个 |
K型 |
220V |
|
FGL(RTP)-80/11/1 |
1100℃ |
80mm |
320 mm |
1个 |
K型 |
220V |
注:给出的 高温度为工作管外测定,其它温区个数和加热区长度可根据客户工艺要求定制。
哪个厂家的质量好?生产厂家西格马质量好,售后完善。