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【电炉名称】1200℃-CVD管式炉
【炉管尺寸】φ25--φ120mm
【加热区】300mm
【额定温度】1200℃
【电源电压】AC220V/50Hz
【控温精度】±1℃
【应用领域】化学气相沉积(CVD)是指化学气体或蒸汽在基质表面反应合成涂层或纳米材料的方法,是半导体工业中应用蕞为广泛的用来沉积多种材料的技术,包括大范围的绝缘材料,大多数金属材料和金属合金材料。
电炉描述
电炉主要针对在真空或者保护气氛下对样品的热处理,质的炉膛材料和稳定的温度控制系统,可保证实验数据的可靠性;电炉采用新型陶瓷纤维材料作为炉膛材料,炉管材质良,炉管两端不锈钢法兰密封,可在真空下工作,法兰上有进气口和出气口,可通入保护气体,精密针型阀可调节进气流量。
电炉特点
1、炉膛材料选用高纯氧化铝陶瓷纤维材料,新型拼装结构,高温不变形、坚固耐用
2、加热体采用高温合金丝,可承受负荷大,稳定且使用寿命长
3、炉管采用石英管,两端不锈钢法兰设计简单、合理、易拆卸,方便进出被烧结样品
4、升温速度快,从室温升到1000摄氏度,一般需要15-30分钟
5、采用智能PID温控仪表,控温精度高,冲温小,具有温度补偿和温度校正功能,精度为±1℃
6、控温仪表具有程序功能,可设定升温曲线,可编程序30段
7、一体式结构,外观技术设计,美观、大方
8、电子元器件均采用知名电炉,带有漏电保护功能,安全可靠
9、本机对工作过程中的超温会发出报警信号,并自动完成保护动作
10、当仪表程序设定完成后,只要按下运行按钮,接下来的工作会自动完成
11、可选配大屏幕无纸记录仪,实现对升温曲线的实时记录,并带有存储卡可对实验数据进行分析和打印
12、可选配气体质量流量计,通入气体可数字精度控制
常规型号 |
SGMGC-25-12 |
SGMGC-40-12 |
SGMGC-60-12 |
SGMGC-80-12 |
SGMGC-100-12 |
SGMGC-120-12 |
炉管尺寸 |
Φ25x800mm |
Φ40x800mm |
Φ60 x800mm |
Φ80x800mm |
Φ100x800mm |
Φ120x800mm |
额定温度 |
1200℃ |
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工作温度 |
1100℃ |
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加热区尺寸 |
300mm |
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电源电压 |
220V/1、8KW |
220V/1、8KW |
220V/2、6KW |
220V/2、6KW |
220V/2、6KW |
220V/5KW |
加热元件 |
HRE合金电阻丝 |
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炉膛材料 |
湿法真空抽滤成型制备的多晶无机氧化铝陶瓷纤维材料 |
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炉管材料 |
石英管 |
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控温精度 |
±1℃ |
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测温元件 |
N型热电偶 |
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温控仪表 |
智能微电脑PID温控仪表,SCR/SSR控制,PID参数自整定功能;可编程序30个时段,程序升温、程序保温、程序降温 |
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升温速度 |
1-25℃/min自由调节 |
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炉体结构 |
炉膛温控一体式结构,炉膛开合式;双层外壳,空气循环隔热 |
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密封性能 |
炉管两端装有不锈钢金属法兰,配套高温PTFE垫圈,可在真空下进行工作, 密封真空度≤0.0001pa |
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气氛性能 |
法兰两端有进气口和出气口,压力表装在金属法兰上,精密针型阀可调节进气和出气量,可通入氮气、氩气、氢气等保护气体 |
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真空获得 |
配套立的真空获得系统,系统内配有1台双旋片式真空泵和数字真空计,包括不锈钢波纹管和挡板阀等组件,系统真空度≤5pa,还可以选择分子泵机组 |
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气路系统 |
配套立的气路系统,系统有三路浮子流量计组成,有混气室,可单进单出也可三路气体混气后进入管式炉系统,浮子流量计量程:60-600ml/min;也可选择自动质量流量计系统,控制精度±1、5%FS,重复精度±0.2%FS,量程:一路0-100SCCM,二路0-200SCCM,三路0-500SCCM |
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设备保护 |
模块化控制,对工作过程中的超温、断偶会发出声光报警信号,并自动完成保护动作 |
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安全保护 |
在设备上装有空开断路器,如发生短路漏电情况时会自动弹开,能保护设备和操作人员的安全 |
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外壳 |
质冷轧钢板数控机床下料加工,经过焊接、打磨、抛光、磷化、酸洗、表面静电喷涂塑粉 |
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质量认证 |
ISO9001 CE SGS TUV |
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标准配置 |
1、炉体一台 2、温度控制器一台 3、电源线3米 4、热电偶一支 5、说明书一份 6、炉钩一把 7、高温手套一双 8、管堵二个 9、密封法兰一套 |
哪个厂家的质量好?生产厂家西格马质量好,售后完善。