高温马弗炉的操作规程
1 准备工作
a,检查电源线接触能否良好
b,检查衔接线能否正常
c,检查冷却水能否正常
d,检查密封性能否正常
e, 准备所需工具：无尘纸、无水酒精、帆布手套、作业手套、口罩、耐高温手套、石墨推车、不锈钢托盘
2 开炉
a,翻开主电源开关
b, 向炉体充氩气至大气压，翻开炉体前门，取下石墨盖板
c, 将保送车开关打至 OUT
d, 清炉 清算炉膛内壁、石墨件及保温资料上的污物
3装料
a,将石墨坩埚放置于保送车平台上，运用限位杆肯定其位置，依次装入硅料。
b、拔出限位杆，保送车开关打至 IN，依次操作 UP - FORWARD - BACK - DOWN，将坩埚装入炉膛内，并肯定保送车会到初始位置。
c、装入石墨盖板，拧紧石墨螺栓，关紧炉门
4 抽气
a、检查炉门能否关紧，真空系统能否密封
b、置 DP 按钮于 DP ON，翻开干式真空泵，翻开真空计开关 P1TF1，翻开干式真空泵 。阀门，开端抽气测试走漏率，
c、当压力表指示为 50Pa是关闭真空泵阀门（非真空泵）露铝≤1Pa/min，翻开氩气阀门充氩气（20L/min）。
加热 先翻开水环泵 再按 RUN，开端工艺加热。
5、冷却
a、加热完毕后，按工艺条件停止冷却；

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