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带滑动法兰三温区CVD系统OTF-1200℃-5-III-F3LV可以快速加热至1200℃,并通过调整三个温区而建立不同梯度的热场,带滑动法兰三温区CVD系统OTF-1200℃-5-III-F3LV可进行退火、扩散、在不同气氛中烧结样品及CVD等实验。
电炉型号 |
带滑动法兰三温区CVD系统OTF-1200℃-5-III-F3LV |
主要特点 |
1、双层壳体,配有冷系统,炉体采用高纯度氧化铝多晶纤维保温材料。 2、内炉膛表面涂有美国氧化铝涂层,可以提高反射率和保护炉膛洁净度。 3、一端法兰配有滑轨,便于样品装卸;另一端法兰装有数字真空计。 4、采用三个立PID控制器,可以设置30段升降温程序,设有过热和断偶保护功能。 5、CE认证。 |
技术参数 |
1、电源:单相AC208-240V 50/60Hz 7KW(40A保险丝) 2、石英管:外径Φ125mm,内径120mm,长1400mm,带有一对真空密封法兰 3、加热元件:掺钼铁铬铝合金电阻丝 4、加热区域:温区I长229mm,温区II长457mm,温区III长229mm,总长915mm 5、恒温区域:三个温区为同一温度时为625mm,温区II为110mm 6、工作温度:≤1200℃,连续工作1100℃ 7、升降温速率:≤20℃/min 8、控温精度:±1℃ 9、热电偶:K型 10、浮子流量计:3个,量程0-100ml/min、0-160ml/min、0-250ml/min 11、数字真空计:10-4torr |
电炉规格 |
尺寸:管式炉1080mm×430mm×600mm;重量:70kg |