电炉型号

高真空CVD系统OTF-1200℃-80-C2HV

主要特点

1、双层壳体，配有风冷系统，壳体温度<60℃。

2、内炉膛表面涂有美国氧化铝涂层，可以提高反射率和保护炉膛洁净度。

3、采用PID控制器，可以设置30段升降温程序。

4、质量流量系统采用316不锈钢制作而成。

技术参数

管式炉

1、石英管：外径Φ80mm，内径Φ75mm，长1000mm

2、加热元件：掺钼铁铬铝合金电阻丝（表面涂有氧化锆）

3、加热区域：440mm

4、恒温区域：150mm

5、工作温度：≤1200℃，连续工作1100℃

6、升降温速率：≤20℃/min

7、控温精度：&±1℃

8、热电偶：K型

9、电源：AC220V 50/60Hz

高真空机组

1、壳体：600mm×600mm×700mm，承重≤275kg

2、真空泵：德国Pfeiffer真空泵

3、显示屏：LCD数字显示

4、抽气速率：N2-33L/s，He-39L/s，H2-32L/s

5、工作范围：1000mtorr-10-7mtorr

6、极限：10-8mtorr（无泄漏）

质量流量混气系统

1、电源：单相AC208-240V 50/60Hz

2、功率：18W

3、尺寸：600mm×600mm×700mm

4、混气箱：Φ80mm×120mm