电炉描述

RTF-PECVD-1200转动式PECVD系统详细介绍：

　

(1)、表面温度高可达1420℃

(2)、表面为不锈钢色（非常亮、客户识别时要注意）、不会生锈，使用时间再长都不会掉渣。

(3)、电阻均衡、温场均衡性好

当电路过流或漏电时，空开会自动断开。

OTL1200单温区转动管式炉配有通讯接口和软件，可以直接通过电脑控制炉子的各个参数，并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况，炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出，并能把每个时刻的温度数据保存起来，随时可以调出

1、真空吸滤成型的质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛。

2、采用技术成型。

3、炉膛里电阻丝的间距和节距全部按蕞的热工技术布置、经过热工软件模拟温场

4、采用4周加热，温场更加均衡

（全部通过UL认证的电器）

RTF-PECVD-1200转动式PECVD系统电炉型号规格：

型号	功率	炉管尺寸(mm)	外形尺寸	电源电压	相数
RTF-PECVD-1200-60	3、5KW	Dia60(OD)X1400mm	1300X420X1200	220V	单相

加热元件：瑞典Kanthal A1 电阻丝 （电阻丝可承诺保修2年）

控制方式：

采用宇电程序控温仪表（标配）

可选配导电程序控温仪表

1、30段程序控温智能PID调节。

2、具有过温保护 断偶保护过温或断偶时电炉加热电路自动切断,，（当电炉温度超过1200度或热电偶烧断时，主电路上的交流继电器会自动断开，主电路断开，面板上ON灯熄灭，OFF灯亮，有限的保护电炉）。

3、带有485 通讯接口（选购软件时标配）

4、具有断电保护功能，即断电后再给电启动炉子时、程序不是从起始温度开始升、而是从断电时炉温开始升。

5、仪表具有温度自整定的功能

控温模式：智能PID 断偶保护和显示:有 过温保护:有 过流保护:有

炉膛材料：1、真空吸滤成型的质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛。

2、采用技术成型。

3、炉膛里电阻丝的间距和节距全部按蕞的热工技术布置、经过热工软件模拟温场

控制精度：+/- 1 ℃

触发器：移相触发

电器：浙江正泰

可控硅：106/16E 德国西门康

额定温度:1200 ℃

额定温度:1100 ℃

升温速率:≤20 ℃/ Min （可根据要求修改）

推荐升温速率:≤10℃/ Min

热电偶型号:K 型

加热段长度:400mm

真空法兰

1、为了增加抽气速率，达到更高真空的要求。可将原有软管接头更换成KF-25接口（VS-0.1和VS高真空系统接口皆为KF25）

2、如用于供气系统，可将原有软管接头更换成Φ6、35mm双卡套接头.

转动电机功率:40W

电动推杆功率:40W

炉子倾斜角度:-10~30度

炉管转动速率 :采用无级变速电机 转速可在1-25转/min 之间可调

转动密封方式 : 采用转动磁流体密封

四周表面温度:≤45℃

射频电源（等离子体发生器）

功率输出范围:0-500W

额定反射功率:10W

信号频率:13、56MHZ&±0.005%

噪声:<30 dB.

冷却方式:空气冷却

输入电源:208-240V 50/60HZ

GX供气系统主要参数

流量控制和检测采用

D07-7C质量流量计

标准量程：采用质子流量控制器 5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM （你可以任意选择量程和所通气体的类型）

额定工作压力：3MP

准确度：&±1、5%

气压降：<0.01MPa

重复精度：&±0.2% F.S

路数：1 、2、3、4、5、6、7、8 路（可任意选择几路）

接头类型：双卡套不锈钢接头

系统工作压力范围：0.1~0.5 MPa

工作温度：5-45℃

压力真空表表：-0.1~0.15MPa 0.01MPa/格

静态混气室：Dia50 X 400MM

接口：Dia6 1/4”

VS-0.1抽气系统

电源：220V

尺寸：600X600X600

波纹管：KF25X1000mm

用该系统抽炉管真空度可达：10 -1Pa

真空挡板阀：KF25

VRD-8真空泵(方案一)

型号：VRD-8

极限分压强：5X10-2 Pa

进排气接口：KF25

电机转速:1440RPM

抽气速率:2、2L/S

电机功率:0.4KW

无油干泵Perfeer ACP15（方案 二）

型号 ACP15

电源 100-240V 50/60HZ

极限分压强 0.02 Torr

进、排气接口 KF25

重量 25KG

额定氦气漏率 5 · 10-8 Pa m3/s

抽气速率 14 m3/h

功率 450W

电阻真空计

型号:ZDR-1

功率:25W

真空度测量范围:0.1-10 5 Pa

电阻硅:ZJ-52T

瑞典（INFICON）皮拉尼陶瓷电容真空计（选购）

型号:PCG554

输入电压:24V 1A SGM（配有220V变压器）

真空计接口:KF16

数字显示:数字显示（屏幕尺寸为20x14mm），其数据显示单位为torr

电炉尺寸:46mm×28mm×126mm ( L x W x H)

重量:5 lbs

检测气体:可检测各种气体，包括混合气体，测量精度、重复性好。

是否防腐:防腐

响应时间:≤30ms

测量范围:3、8x10-5 -1125 Torr.

GX供气系统主要参数

电阻炉厂家信息

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