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OTL-CVD-1200-SCVD系统详细介绍:
CVD系统由供气系统+管式炉+抽气系统 ,额定温度可以达到1200度、1400度、1600度、1700度,加热区间可以是单温区、双温区、三温区等,极限真空可以达到10-3Pa,供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计,混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。
OTL-CVD-1200-SCVD系统是由3路供气系统+OTL1200-S管式炉+真空系统组成
OTL-CVD-1200-SCVD系统以质电阻丝瑞典(Canthal)为加热元件,采用双层壳体结构和岛电控温仪表,能进行40段程序控温,移相触发、可控硅控制,炉膛采用氧化铝多晶纤维材料,具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等点,是高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火用的高温电炉设备。
1、瑞典Kanthal A1 电阻丝
(1)、表面温度高可达1420℃
(2)、表面为不锈钢色(非常亮、客户识别时要注意)、不会生锈,使用时间再长都不会掉渣。
(3)、Kanthal电阻丝资料下载
(4)、Kanthal电阻丝网本
(5)、电阻均衡、温场均衡性好
2、安装有空气开关和漏电保护器:
当电路过流或漏电时,空开会自动断开。
3、可以与电脑连接
该炉配有通讯接口和软件,可以直接通过电脑控制炉子的各个参数,并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况,炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出,并能把每个时刻的温度数据保存起来,随时可以调出
4、炉膛
1、真空吸滤成型的质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛。
2、采用技术成型。
3、炉膛里电阻丝的间距和节距全部按蕞的热工技术布置、经过热工软件模拟温场
4、采用4周加热,温场更加均衡
5、可选UL认证电气板 (全部通过UL认证的电器)
OTL-CVD-1200CVD系统技术参数:
型号 | 功率 | 炉管尺寸 | 电源电压 |
OTL-CVD-1200-S-25 | 1、5KW | φ25*600 | 220V |
OTL-CVD-1200-S-50 | 1、5KW | φ50*600 | 220V |
控温模式:智能PID
断偶保护和显示:有
过温保护:有
过流保护:有
控制精度:+/- 1 ℃
触发器:移相触发
电器:浙江正泰
可控硅:106/16E 德国西门康
额定温度:1200 ℃
额定温度:1100 ℃
升温速率:≤20 ℃/ Min (可根据要求修改)
推荐升温速率:≤10℃/ Min
热电偶型号:K 型
加热段长度:200mm
6、不锈钢支撑架
7、认证
8、法兰