电炉描述

SGM-CVD-1400单温区CVD系统详细介绍：

CVD系统由供气系统+管式炉+抽气系统 ，额定温度可以达到1200度、1400度、1600度、1700度，加热区间可以是单温区、双温区、三温区等，极限真空可以达到10-3Pa，供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计，混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。

SGM-CVD-1400单温区CVD系统系统是由3路供气系统+SGM1400管式炉+真空系统组成

1、加热元件

（1）、硅碳棒的热端粗度d为14mm、一般厂家采用的12MM、加热端粗、不容易弯曲、棒子的表面负荷低，使用寿命长。

（2）、m冷端长度为210mm， 一般厂家采用180mm, 冷端长炉顶温度低。

（3）、硅碳棒表面氧化非晶膜致密，能够比较好的保护碳棒。

2、安装有空气开关和漏电保护器：

当电路过流或漏电时，空开会自动断开。

SGM-CVD-1400单温区CVD系统技术参数：

型号	功率KW	炉管尺寸mm	外形尺寸mm	电源电压
SGM-CVD-1400-60	5KW	φ60*1000	610*490*800	220V/380V
SGM-CVD-1400-80	5KW	φ80*1000	610*550*850	220V/380V
SGM-CVD-1400-100	6KW	φ100*1000	610*550*850	220V/380V

控温模式：智能PID

断偶保护和显示：有

过温保护：有

过流保护：有

控制精度：+/- 1 ℃

触发器：移相触发

电器;浙江正泰

可控硅:106/16E 德国西门康

额定温度:1400 ℃

额定温度:1350 ℃

升温速率：≤35 ℃/ Min （可根据要求修改）

推荐升温速率：≤15℃/ Min

热电偶型号：S型

加热段长度：300 mm

3、可以与电脑连接（选购）

该炉配可有通讯接口和软件，可以直接通过电脑控制炉子的各个参数，并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况，炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出，并能把每个时刻的温度数据保存起来，随时可以调出

4、炉膛

1、真空吸滤成型的质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛。

2、采用技术成型。

3、炉膛材料热容低、热传导系数低，从而散热少、保温好、反射率高。温场均衡。

4、炉膛氧化铝丝细而长、耐温高、抗热涨冷缩能力强。

5、炉膛表面光洁、不易掉粉。

5、可选UL认证电气板 （全部通过UL认证的电器）

6、不锈钢支撑架

7、多款可供选择的各种法兰 （直径从25到250mm

8、认证

电阻炉厂家信息

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