电炉描述

SGM-CVD-1700单温区CVD系统详细介绍：

CVD系统由供气系统+管式炉+抽气系统 ，额定温度可以达到1200度、1400度、1600度、1700度，加热区间可以是单温区、双温区、三温区等，极限真空可以达到10-3Pa，供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计，混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。

这款CVD系统是由4路供气系统SGM1600管式炉+真空系统组成

1、加热元件

（1）、硅钼棒的热端粗度D1为7mm、一般厂家采用的6MM、加热端粗、不容易弯曲、棒子的表面负荷低，使用寿命长。

（2）、采用的是热弯技术，电阻均匀，使用寿命长

（3）、Lu冷端长度为210mm， 400X300X300炉子为260 ，一般厂家采用180mm, 冷端长炉顶温度低。

（4）、硅钼棒表面氧化非晶膜致密，能够比较好的保护硅钼棒。

2、安装有空气开关和漏电保护器：

当电路过流或漏电时，空开会自动断开。

SGM-CVD-1700单温区CVD系统技术参数：

型号	功率KW	炉管尺寸mm	外形尺寸mm	电源电压
SGM-CVD-1700-60	5KW	φ60*1000	610*490*80	220V/380
SGM-CVD-1700-100	6KW	φ100*1000	610*550*850	380V/380

控温模式：智能PID

断偶保护和显示:有

过温保护:有

过流保护:有

控制精度:+/- 1 ℃

触发器:移相触发

电器:浙江正泰

可控硅:106/16E 德国西门康

额定温度:1700 ℃

额定温度:1650 ℃

升温速率:≤20 ℃/ Min （可根据要求修改）

推荐升温速率:≤10℃/ Min

热电偶型号:B型

加热段长度:300 mm

3、可以与电脑连接

该炉配有通讯接口和软件，可以直接通过电脑控制炉子的各个参数，并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况，炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出，并能把每个时刻的温度数据保存起来，随时可以调出

4、炉膛

1、真空吸滤成型的质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛。

2、采用技术成型。

3、炉膛里电阻丝的间距和节距全部按蕞的热工技术布置、经过热工软件模拟温场

4、采用4周加热，温场更加均衡

5、该炉膛不掉粉、材料保温性能好、反射率高、温场均衡，抗热涨冷缩能力强

5、可选UL认证电气板 （全部通过UL认证的电器）

6、触发器

1、移相触发（带软启动和限流功能）

2、限流功能：无论怎么样设置升温速率，我们电炉的二次电流始终被限制在170A以内，有效的保护了设备。由于采用限流功能，高温下可开炉门。如果您使用的电炉需要在升温过程中对炉子的升温速率进行限制（例如：规定在1400℃后不得超过3℃/min等）即采用非限流触发器。升温速率设置错误或者升温速率过快、这时电流会非常大，设备会跳闸或烧坏。

3、软启动功能：开机时电流会慢慢增大，对加热元件的冲击较小，有利于加热元件寿命的延长

4、保护功能：如果电流超过限制电流、触发器会自动切断触发功能以切断电流保护电炉。

7、UL认证变压器

1、变压器电缆为纯铜

2、变压器声音小

3、变压器温身低

8、不锈钢支撑架

8、多款可供选择的各种法兰 （直径从25到250mm）

9、认证

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