TL1400--L-C单温区2通道低真空CVD系统_哪个厂家的管式炉质量好

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TL1400--L-C单温区2通道低真空CVD系统

电炉类型：高温电炉
电炉名称：TL1400--L-C单温区2通道低真空CVD系统
电炉类型：高温管式炉
电炉系列：西格马SGM
电炉规格：
电炉温度：1400

咨询热线：13233997675

产品详情

TL1400单温区2通道低真空CVD系统

CVD系统由供气系统+管式炉+抽气系统，设计温度可以达到1200度、1400度、1600度、1700度，加热区间可以是单温区、双温区、三温区等，极限真空可以达到10^-3Pa，供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计，混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。

这款CVD系统是由2路供气系统+TL1400管式炉+低真空系统组成

TL1400管式电炉描述

管式炉以硅碳棒为加热元件，采用双层壳体结构和岛电控温仪表，能进行40段程序控温，移相触发、可控硅控制，炉膛采用氧化铝多晶纤维材料碳炉管两端能不锈钢法兰密封，不锈钢法兰上安装有气嘴、阀门和压力表，抽真空时真空度能够达到10^-3 Pa ,该炉具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等点，是高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火用的不错电炉.。

软件控制系统：该炉配有通讯接口和软件，可以直接通过电脑控制炉子的各个参数，并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况，炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出，并能把每个时刻的温度数据保存起来，随时可以调出。

密封系统：该炉法兰采用双重硅胶O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸，气密性好、可保证12小时压力表指针不偏转。

真空系统：可配TW-1.5A真空泵和能够抽到10^-1Pa真空泵或能够抽到10^-4Pa德国分子泵。

炉膛材料：采用质炉膛材料，不掉粉、材料保温性能好、反射率高、温场均衡，抗热涨冷缩能力强。

加热元件：采用Dia14mm直径硅碳棒、硅碳棒直径粗、表面负荷低，使用使用长。

漏电保护功能：该炉装了漏电空气开关，当炉体漏电时自动断电，以确保使用的安全性。

供气系统：该炉配有浮子流量计，客户可通过浮子流量计或质子流量计控制气体的流速（详细请查看选件）。

法兰：采用双环密封技术，有效的提高了法兰的气氛性，法兰上装有多种接头，可接电阻真空计、KF25波纹管并能做成容易撤卸的铰链式。

单温区低真空CVD系统详细技术参数

TL1400管式炉技术参数	型号	TF60-14	TF80-14	TF100-14
	功率	4KW	4KW	6KW
	炉管尺寸	Dia 60(OD) X1000 mm	Dia80(OD)X1000	Dia100（OD)X1000
	电源电压	220V
	相数	单相
	加热元件	硅碳棒
	控制方式	40段程序控温（岛电），可以分成4、2、1组程序，如果分成4组程序，每条程序为10段， FP93 6组PID控制，低、中、高温度段都能控制得很准确。具有过温保护断偶保护过温或断偶时电炉加热电路自动切断。仪表有华氏度（F）和摄氏度（C）可供选择带有485 通讯接口具有自动停机功能可以储存多组程序、使用时可以任意调出。
	炉膛材料	氧化铝多晶体纤维（氧化铝含量95%以上）质
	控制精度	+/- 1 ℃
	触发器	移相触发（带软启动和限流功能）
	电器	浙江正泰
	可控硅	106-16E 德国西门康
	设计温度	1400 ℃
	额定温度	1350 ℃
	升温速率	≤10 ℃/ Min （可根据要求修改）
	推荐升温速率	≤5 ℃/ Min
	热电偶型号	B型
	加热段长度	260mm
	真空法兰	铰链式法兰额可以接电阻真空计和KF25 普通式法兰（选件）波纹管的法兰（标配）
	认证
	四周表面温度	≤45℃
供气系统	二路浮子流量计（可选）
	二路质子流量计（该系统配这套）
	三路质子流量计（可选）
	四路质子流量计（可选）
	五路质子流量计（可选）
真空系统
	VS-0.1低真空系统（可选）
	VS-高真空系统（可选）
真空度检测系统	电阻真空计
	国产电阻真空计

管式炉标准配件

描述	数量	图片
TL1400 管式炉	1 台
刚玉管	1 根
不锈钢法兰	1 对
不锈钢炉钩	1根
氧化铝炉塞	2对
高温手套	1 双
氧化铝坩埚	5 个
Ｓ型热电偶	1个
保险	1个
COM转USB接口	1 付
加热元件（除开炉子上配的）	2支
说明书	1 份
软件	1 份