全自动直拉式单晶硅炉
- 电炉类型：高温电炉
- 电炉名称：全自动直拉式单晶硅炉
- 电炉类型：电炉配件
- 电炉系列：西格马SGM
- 电炉规格：
- 电炉温度：
- 咨询热线：13233997675
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产品详情
单晶硅炉概述
高效率的设备运作
单晶硅棒高收率以及85%以上的整棒生产率
结构精良的机械部件
机械部分均采用高精度数控加工，焊接工艺符合JIS标准
安全可靠的设备装置
具有电源安全保护装置，炉体水温报警系统，炉压异常报警系统
先进的控制系统
全面数字化管理、全自动操作
技术特点
实现多次装料的技术，每次装料可高达50KG，可分为内部装料和外部装料，
极大提高生产效率，并降低生产成本
采用自行研发的抓取机械手，使得每次开炉后的冷却时间减少2-3个小时
磁流体密封技术，保证了籽晶轴的转动密封
自行研发设计水冷套，提高生产效率，降低单位能耗
自行研发设计的取棒车，方便取成品晶棒和运输
完善的服务
完善的售前服务，整体的生产培训，技术人员驻厂服务，及时的机械零部件配件，定期回访客户，实时的软件升级更新
单晶硅炉技术参数
| 型号 | SGM-DJG-D1 | |
| 周围温度 | 15-30摄氏度 | |
| 周围湿度 | le;65%（必须保证没有结露情况的发生） | |
| 洁净度 | 一般环境 | |
| 真空度 | 结晶拉制环境：2、7KPa（20Torr） | |
| 到达真空度 | 3Pa以下 | |
| 泄漏量 | 0.1Pa/min or 5Pa/hr | |
| 拉制晶棒直径 | 8quot; | |
| 坩埚轴额定承重 | 350Kg （可根据客户要求加大承重量） | |
| 腔内蕞小直径 | phi;320mm | |
| 额定热场规格 | 28quot; | |
| 额定石英坩埚规格 | 28quot; | |
| 上炉室炉筒高度 | 可根据客户要求定制 | |
| 籽晶轴行程 | 约5600mm | |
| 籽晶提升速度（低） | 0-7、9mm/min | |
| 籽晶提升速度（高） | 500mm/min | |
| 籽晶旋转速度 | 2-20rmp | |
| 坩埚升降速度（低） | 0.03-3mm/min | |
| 坩埚升降速度（高） | 200mm/min | |
| 坩埚轴额定承重 | 550kg | |
| 坩埚转速 | 2-20rmp | |
| 坩埚升降轴行程 | 700mm | |
| 重量 | 炉主体 | 8000kg |
| 操作箱 | 80kg | |
| 电气控制箱 | 500kg | |
| 加热器电源箱 | 1800kg | |
| 电源 | 定格电压 | 三相380V 50/60Hz |
| 定格电容 | 320KVA | |
| 定格流量 | 500A | |
| 设备额定高度 | ＜9600mm | |
全自动直拉式单晶硅炉 哪个厂家的质量好?生产厂家洛阳高温电阻炉厂家质量好，售后完善。
