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多晶硅铸锭炉参数
引进国际技术,针对太阳能电池市场需求而开发的高性能多晶硅铸锭设备。该设备将多晶硅碎块料、头尾料、锅底料、各种单晶废片等材料装入炉内化料的石英坩埚内,经融化、重新定向结晶及退火等工艺,铸成生产太阳电池的前道原料mdash;mdash;多晶硅锭。
高产能:
融合当代各种新技术,装料量大,大幅提升产能;
安全性:
采用特的陶瓷纤维+石墨硬毡双重安全防护设计并有自动漏硅感应系统,可及时启动漏硅应急措施。其卓越的安全性能,能大大降低事故隐患。
高品质:
特的性能加热系统与保温措施,能保证结晶过程中硅材料电阻率的均匀性和一致性,并有效降低耗能,减少企业成本。
自动化:
中央集成控制系统,具有高速微处理器的检测与处理。
完善的服务:
完善的售前服务,整体的生产培训,技术人员驻厂服务,及时的机械零部件配件,定期回访客户,实时的软件升级更新。
多晶硅铸锭炉参数
型号 | SGM-DJG-800KG | ||
电炉规格 | 投料量 | 800kg装料 | |
晶锭尺寸 | 1000mmtimes;1000mmtimes;350mm | ||
设备真空度 | 结晶环境 | 55-60kPa(工艺要求) | |
空冷炉极限真空度 | 3Pa以下 | ||
允许漏泄量 | 5Pa/Hr以下 | ||
重量 | 主炉体 | 约4800kg | |
机架 | 约1180kg | ||
操作台 | 约2100kg | ||
操作箱 | 约50kg | ||
控制箱 | 约400kg | ||
电源箱组 | 约2500kg | ||
主机外形尺寸 | 3900mmtimes;4910mmtimes;5735mm | ||
炉体 部件 规格 |
内径 | 2104mm | |
材质 | 内:SUS304L 厚度为:14mm | ||
内:SUS304L 厚度为:8mm | |||
高度 | 上炉体:2000mm | ||
下炉体:1105mm | |||
炉盖厚:65mm | |||
三组电极中心距 | 900mm | ||
观察窗 | 测温及观察:一处 | ||
冷却水流路分隔 | 螺旋形构造 | ||
冷却水排水口 | 炉体各部件蕞上部 | ||
保温罩 升降机构部件规格 |
升降驱动方式 | 自动/手动 | |
升降轴行程 | le;380mm | ||
限位开关 | 两处(上限、下限) | ||
下炉体升降机构部件规格 | 升降驱动方式 | 自动/手动 | |
升降行程 | 1000mm | ||
限位开关 | 两处(上限、下限) | ||
真空管路系统部件规格 | 主真空管道的接口尺寸 | ISO-K100 | |
轴真空管道的接口尺寸 | ISO-KF16 | ||
控制蝶阀 | 自动/手动 | ||
炉压控制精度 | ±0.10kPa | ||
接口位置 | 上炉筒的左侧面(主真空机组) | ||
Ar气管路 | 额定流量 | 100L/min(用MFC控制Ar) | |
系统部件 | 输入压力 | 0.27MPa以上 | |
规格 | 端口位置 | 炉盖上部 | |
冷却水系统 部件规格 |
冷却水源输入输出口为螺纹连接,通径尺寸 | Oslash;50mm(Rc2quot;) | |
流量 | le;180-220L/min | ||
水压 | 4kgf/cmsup2; - 4、5kgf/cmsup2; | ||
进出水压力差 | 2 kg/cmsup2; 以上 | ||
进水温度 | 15~25℃ | ||
电器 控制 系统 |
加热器电源 部件规格 |
输入电压:380V AC三相五线制(50Hz)320A | |
加热器功率:173KW(AC0-25V0-4000A) | |||
输出控制方式:温度控制/功率控制 | |||
功率控制精度:额定输出±1%以内 | |||
温度测定系统 部件规格 |
①B型热电偶 测定范围:0-1800℃ 重复精度:±0.5℃(或±0.0025%全量程) |
②红外测温仪 重复精度:0.1%(全量程) 测定范围:600-3000℃ 测定波长:0.85-1、mu;m |
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工艺控制方式 | 控制器构成 | 工业控制计算机 | 高性能PLC |
控制方式 |
①装料:手动 ②抽真空:手动/自动 ③加热:手动/自动 ④溶解、稳定:手动/自动 ⑤凝固、结晶:手动/自动 ⑥退火:手动/自动 ⑦冷却:手动/自动 ⑧取出:手动 |
800公斤多晶硅铸锭炉,可定制 哪个厂家的质量好?生产厂家洛阳高温电阻炉厂家质量好,售后完善。