小型双炉体滑道管式炉
- 电炉类型：高温电炉
- 电炉名称：小型双炉体滑道管式炉
- 电炉类型：电炉配件
- 电炉系列：西格马SGM
- 电炉规格：
- 电炉温度：
- 咨询热线：13233997675
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产品详情
小型双炉体滑道管式炉同时可选择电动滑轨、质量流量计（MFC）控制的供气系统和等离子射频电源来搭建CVD系统。
该设备可用于石墨烯制备、硫化物制备等。
小型双炉体滑道管式炉技术参数：
微
型
管
式
炉
电炉型号
SGM-O1200-50SDM
炉管材质
高纯石英
炉管直径
50mm
炉管长度
1400mm
加热区长
300mm
恒温区长
200mm
工作温度
0～1100℃
控温精度
±1℃
控温模式
30段或50段程序控温
显示模式
高亮数码管数字显示
密封方式
304不锈钢真空法兰
法兰接口
1/4英寸卡套接头，KF16/25/40接头
可抽真空
4、4E-3Pa
供电电源
AC:220V 50/60Hz
供
气
系
统
电炉型号
SGM-3Z
气体通道
3通道
测量部件
气体质量流量计
测量量程
A通道：0～100SCCM H2气
备注：如需其它量程或气体种类，定货时需要特别注明。可根据客户的具体要求来选配对应的气体种类和量程的流量计。
B通道：0～300SCCM N2气
C通道：0～500SCCM Ar气
测量精度
±1、0%F.S
管道耐压
3MPa
工作压差
50～300KPa
连接管道
304不锈钢
控制阀门
304不锈钢针阀
接口规格
进气口和出气口为1/4英寸卡套接头
供电电源
AC:220V 50/60Hz
排
气
系
统
机械泵
旋片泵
抽气速率
4L/S
排气接口
KF16
真空测量
电阻规
极限真空
1、0E-1Pa
供电电源
AC:220V 50/60Hz
抽气接口
KF16
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