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a,将石墨坩埚放置于保送车平台上,运用限位杆肯定其位置,依次装入硅料。
b、拔出限位杆,保送车开关打至 IN,依次操作 UP - FORWARD - BACK - DOWN,将坩埚装入炉膛内,并肯定保送车会到初始位置。
c、装入石墨盖板,拧紧石墨螺栓,关紧炉门。
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