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电炉介绍
SGM-KQ高温管式炉,采用双层壳体结构和智能化自动控温系统、可控硅控制、移相触发,炉膛采用氧化铝多晶体纤维材料,双层炉壳间配有风冷系统,能快速升降温,内置两个温区,可营造不同的温度梯度,用于带有真空系统的CVD或PVD外薄膜生长的不错电炉。
主要用途和适用范围:
用于冶金、机械、轻工、商检、高等院校及科研部门、工矿企业电子陶瓷电炉的预烧、烧结、镀膜、高温热解低温沉积(CVD)工艺等。
结构特点:
1、采用KF快速法兰密封,只需要一个卡箍就能完成法兰的连接,放、取物料方便快捷,避免了螺栓密封人为操作导致漏气的可能;减少了因安装法兰而造成加热管损坏的可能;
2、炉膛采用氧化铝多晶纤维材料,保温性能好,耐用,拉伸强度高,无杂球,纯度高,节能效果明显于国内纤维材料,加热元件采用硅钼棒,大大提高了其使用寿命,99瓷质刚玉管,致密度高,经久耐用,不易断裂;
3、预留了真空、气路快速接口,可配合我部真空系统、混气系统使用;
4、可通过我们的软件,与计算机互联,可实现单台或者多台电炉的远程控制、实时追踪、历史记录、输出报表等功能;可安装无纸记录装置,实现数据的存储、输出;
5、超温报警并断电,漏电保护,操作安全可靠。
技术参数:
项目 | 单位 | 有效尺寸mm | 有效尺寸mm | 有效尺寸mm | 有效尺寸mm | ||
炉管及恒温区 | mm | ¢40X200 | ¢60X300 | ¢80X300 | ¢100X300 | ||
温度类别 | ℃ | 1000℃、1200℃、1400℃、1600℃、1700℃、1800℃ | |||||
标配真空度 | -0.1MPa(如需更高真空可选购不同真空系统) | ||||||
控制精度 | ℃ | ±1℃ | ±1℃ | ±1℃ | ±1℃ | ||
加热元件 | 根据温度而定,选用质电阻丝、硅碳棒、硅钼棒 | ||||||
电压/频率 | VAC/Hz | 220/50 | 220/50 | 220/50 | 220/50 | ||
设计功率 | KW | 3、5 | 6 | 8 | 10 | ||
温控方式 | 微电脑智能调节技术,具有PID调节、全自动控制、自整定功能,多段程序编程,并可编制各种升温、保温、降温程序,控温精度高;集成模块可控硅控制、移相触发。 | ||||||
保护装置 | 立超温保护、超压、超流、漏电、短路等保护。自动化程度较高,各项指标达到了国际先进水平。 | ||||||
炉管 | 根据温度而定,选用质99刚玉管、高纯石英管、2520钢管 | ||||||
主要附件 | 炉管,法兰,压力表,炉管隔热塞,高温手套,炉管勾,流量计,合格证,操作说明书,质保书1份,真空泵。 | ||||||
可选配 | 无纸记录仪,有纸记录仪,微电脑液晶触摸屏控温仪,人机画面 通讯联机功能,多台设备一台电脑控制,打印与保存数据,实现操作简单方便,实时可查看与保存数据,数显质量流量计,自动多路或单路控制,流量精度更高,气体流动更稳定。 | ||||||
注:可根据要求定制炉管尺寸,其他特殊要求订货时请说明。 |