系统描述

电炉型号

CVDT1500-50ITG3Z

CVD T1500-60ITG3Z

CVD T1500-80ITG3Z

炉管尺寸

Φ50*1000mm

Φ60*1000mm

Φ80*1000mm

工作温度

≤1450℃

加热区尺寸

310mm

升温速率

≤20℃/s

电气规格

AC220V 3KW

气体系统（可选购）

流量计类型

浮子流量计

质量流量计

管道示意图

进气接口数量

2、3、4（多路可选）

流量范围

20-250/20-800ml/min(多量程可选)

50-100/200sccm(多量程可选)

工作压差范围

0-0.15MPa

低真空系统（可选购）

真空泵型号

SGM-1、5C

SGM-3C

SGM-4C

抽气速率

1L/s

3L/s

4L/s

进排气口尺寸

Φ8mm宝塔接头

Φ8mm宝塔接头

KF16/25

极限压力

1000Pa

100Pa

10Pa

工作温度

5-40℃

电气规格

AC220V

高真空系统（可选购）

真空泵型号

SGM-103(A)

SGM-103(B)

SGM-103(C)

抽气速率

110L/s

600L/s

700L/s

真空测量计

复合真空计

极限压力

10^-3Pa

10^-4Pa

10^-5Pa

工作温度

5-40℃

电气规格

AC220V

AC 220V

AC 380V

* 支持非标定做，更多型号，欢迎来电垂询400-000-3746